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高純氣體

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純氬

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　　氬氣的主要應用于焊接、不銹鋼制造、冶煉，還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等。用作ICP，氣相色譜儀等儀器的載氣，標準氣、平衡氣、零點氣等。

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